TIA 1515 F Steuerung, SPS geht auf Stop

Hallo,
ich verzweifele gerade an einer 1515 F Steuerung.
Die SPS geht nach dem anlauf gleich auf Stop,
unter Aufrufhierachie findet sich
FOB_RTG1(OB123)
SPLIT_FOB_1_1(FC32769)
F_CTRL_1(FB32767)

In der Diagnose sieht es so aus

1-
CPU wechselt von Zustand ANLAUF nach RUN
2-
Fehler: Sicherheitsprogramm: Interner CPU-Fehler
F-Ablaufgruppe 1
Interne Fehlerinformation: 1: 18
Interne Zusatzfehlerinformation: 6
3-
Wartungsanforderung: Sicherheitsprogramm: Warngrenze Zykluszeit überschritten
F-Ablaufgruppe 1
Aktuelle Zykluszeit der F-Ablaufgruppe 1: 111000 µs
18A1 / 18A1.
4-
Fehler: Sicherheitsprogramm: Interner CPU-Fehler
F-Ablaufgruppe 1
Interne Fehlerinformation: 1: 18
Interne Zusatzfehlerinformation: 6
18A1 / 18A1.
5-
Temporärer CPU-Fehler: Anwenderprogrammierte STOP-Anforderung in FB 32767
betrifft OB 123-Ausführung

Im OB123 heißt es mein Programm ist konsistent.
Alle Safety Einstellungen sind unverändert.

Ich hatte mal den Safety FB samt IDB gelöscht, und danach wieder angelegt!
Was kann das wohl sein?
Schon mal vielen Danke für euere Hilfe.

Gruß